全面解析OLED成像原理及工艺制造 

什么是OLED 屏幕？OLED 的全名为Organic Light-Emitting Diode ，中文名为有机发光二极管。它是LED 的一种，由美籍华裔教授邓青云教授在实验室中发现。与目前被广泛使用的平板显示器LCD 相比，OLED 具有主 动发光、高对比度、超轻薄、耐低温、响应速度快、功耗低、视角广、抗震能力强等特点，而且更适合柔性显示和3D 显示。具有以上众多优势的OLED 显示器， 不存在从侧面看不清楚的问题；也不会有LCD 影像残留及画面跳动的情况；不但便宜，而且省电；相对于LCD ，颜色更鲜艳，对比更鲜明，而厚度小于2mm 的 全彩面板更是只能用OLED 才能做到。

要想知道OLED为何会有如此多的优点，还要从它的工作原理说起。OLED是如何发光的？OLED的典型结构如图所示，用ITO(氧化铟锡)导 电薄膜做阳极，金属做阴极，中间沉淀一层有机发光材料作为发光层。为了形象的理解，我们可以把它看成一块三明治，下面的一块面包是金属材料，上面的一块面 包是有机透明材料ITO导电膜，把中间的电子传输层和空穴传输层分别看成鸡蛋和香肠，有机发光层是中间的一层面包。

当OLED接通电源后，金属阴极产生电子，ITO阳极产生空穴，在电场力的做用下，电子穿过电子传输层，空穴穿过空穴传输层，来到有机发光层相 会，电子和空穴分别带正电和负电，它们相互吸引，在吸引力（库仑力）的作用下被束缚在一起，阴阳结合，形成了激子。激子激发发光分子，使得发光分子的能量 提高，处于激发状态，而处于激发状态的分子是不稳定的，它想回到稳定状态，在极短的时间内，它放出能量回到稳定状态，而放出的能量就以光的形式发出，由于 ITO阳极段是透明的，人们就可以看到它发出的光了。电视机屏幕给我们带来视觉盛宴，绝不仅仅只有一个颜色，而颜色的不同是由有机发光层的不同材料所引起 的。

OLED 有如此优异的性能，它又是被如何制造出来的呢？这里简要介绍一下这毫厘之间的加工工艺。制备性能良好的有机发光器件需要使用许多复杂的 设备，需要有清洁的环境，如有可能，应尽量在超净实验室或厂房中进行。首先准备好导电和透光性能良好的导电玻璃，通常用的ITO 玻璃，并对ITO 玻璃进行 光刻，得到高性能的ITO 玻璃基片；其次必须对ITO 基片进行严格清洗。然后蒸发沉积有机薄膜和阴极；最后对取出的器件做封装测试。其中，蒸发沉积有机薄 膜是关键技术。蒸发沉积有机薄膜的方法有真空热蒸镀法，有机气相沉淀法，旋涂法和喷墨打印法。

真空热蒸镀

真空热蒸镀是小分子OLED 的标准淀积工艺。直到现在，寿命最长的OLED 都是由真空热蒸镀工艺制成的。正是由于这个原因，今天的小分子 OLED 决定了OLED 显示器的商业化前景。ITO 玻璃基片在被清洗干净后，需要放置在真空腔内的样品托上，对准束源，此时，ITO 玻璃片相当于靶子，在 束源中蒸发出来的有机分子就是子弹，这里，子弹不能打在靶子中央，而是要均匀地打在靶子上。这个方法有点像把一块玻璃放到盛有热水的杯子的杯口处，渐渐会 看到玻璃上有一层白雾，不过这里所需要的条件要苛刻得多。

在沉积薄膜之前要先获理真空，真空度通常必须高于10-3Pa ，如果低于该真空度，真空腔内有一定的空气浓度，会有一些气体分子，当有机分子射 出后，部分有机分子会碰撞到气体分子，如同两个小球相碰，有机分子会被弹开，改变原来的运动路径，从而无法击中ITO 玻璃基片。使有机分子沉积到基底上的 速率不均匀，易形成不规则排列，导致缺陷或针孔。与此同时还造成其他麻烦：浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，薄膜会有空气分子杂质等。如果需要 更高性能的OLED ，就需要超高真空的有机分子束沉积(OMBD) 系统，在这种系统中，真空度达到10-6Pa 或10-7Pa 数量级。但是蒸发热蒸镀由于 受真空腔体尺寸的限制，不能制备大面积的OLED 屏幕。

有机气相淀积

有机气相淀积可用来淀积高质量的有机薄膜。该方法比蒸发热蒸镀发多了一个喷嘴。在有机气相淀积法中，有机小分子材料置于一个外部单独的、热可控的容器中，惰性气体携带蒸发的有机分子从一个喷口喷出，喷向喷口下方的ITO 玻璃基片，有机分子遇到温度较低的基片后附着其上，渐渐形成薄膜，由于附着在 基片上的分子数量由气体流速、蒸发温度和压强决定，所以通过精确控制这三个参数，可以较好地控制薄膜的厚度。

与真空热蒸镀相比, 有机气相淀积可以提供更好的薄膜厚度控制和更大面积下的均匀性。除了提高了器件的性能，材料的可能利用率大于50% ，从而减 少了原材料的消耗，使停产期更短，产量更高，这些都是有机气相淀积对于传统真空热蒸镀的重要优势。由于旋涂法和喷墨打印法大多被用于制造单色显示器，且旋 涂法很难做出较大OLED 屏幕，在此不再做详细介绍。

每种工艺手法都有其优缺点，这正是制约大尺寸OLED 屏幕发展的原因之一，相信随着科技的发展，生产大尺寸OLED 屏幕的成本会越来越低，其画面效果会越来越好，OLED 屏幕将成为下一代主流显示技术，进入千家万户。